23年蝕刻領(lǐng)域?qū)崙?zhàn)經(jīng)驗(yàn),擁有上萬(wàn)次成功案例,500強(qiáng)企業(yè)的信賴。
精密金屬遮罩蝕刻法的運(yùn)用
發(fā)布日期:2022-06-06
遮蔽罩主要是用于遮蔽帶電導(dǎo)體或者不帶電導(dǎo)體部件的保護(hù)罩。而這里的精密金屬遮罩是用于OLED蒸鍍制程,通過(guò)精密金屬遮罩中的孔洞將三種種顏色的蒸鍍材料進(jìn)行穿透,準(zhǔn)確的將位置形狀大小定義在玻璃基板上。
那么精密金屬遮罩是如何進(jìn)行制造的呢?卓力達(dá)蝕刻將采用目前主流的蝕刻制作法,通過(guò)在金屬曝光顯影制程,在金屬金屬基材上通過(guò)化學(xué)藥劑采用菲林的方式制作出鏤空區(qū),在利用蝕刻制程做出凹陷區(qū),通過(guò)上下兩側(cè)面凹陷區(qū)進(jìn)行再次蝕刻制作出刻穿孔洞。該方法對(duì)孔洞的大小在精度上要求極高,也是蝕刻工藝技術(shù)上的難題,主要原因是主表面與孔洞開(kāi)口的側(cè)邊壁面有一定的斜坡形成尖點(diǎn),因蝕刻時(shí)間的長(zhǎng)短,藥劑的濃度容易產(chǎn)生誤差導(dǎo)致孔徑大小精度差異較大,目前實(shí)現(xiàn)精密金屬遮罩的制作法除了蝕刻制作法,還有電鑄制作法,激光制作法,但這兩種工藝弊端無(wú)法滿足需求,所以最直接的方式依舊是蝕刻制作法,卓力達(dá)在蝕刻行業(yè)中追求精益求精,不斷的突破技術(shù)設(shè)限成功實(shí)踐精密金屬遮罩的制作。
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